Публикации
- Перспективы развития технических наук, / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 3. . г. Челябинск, 2016. 112 с.
ПРИМЕНЕНИЕ ВТОРИЧНОЙ ИОННО-ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ В НАНОЛИТОГРАФИИ - Актуальные вопросы технических наук в современных условиях, / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 4. . г. Санкт- Петербург, 2017. 128 с.
ОСОБЕННОСТИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С РЕЗИСТОМ И ПОДЛОЖКОЙ - Новые технологии и проблемы технических наук. / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 5. г. Красноярск, – НН: ИЦРОН, 2018. 55 с.
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР - Технические науки в мире: от теории к практике./ Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 6, г. Ростов-на-Дону, – НН: ИЦРОН, 2019. 31 с.
ПРИМЕНЕНИЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ СИНЕЗА НАНОПЛЕНОК - Актуальные вопросы науки и техники./ Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 7. г. Самара, – НН: ИЦРОН, 2020. 50 с.
ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ЧАСТИЦ МЕТОДАМИ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ - Актуальные вопросы технических наук в современных условиях, / Сборник научных трудов по итогам международной научно-практической конференции. № 3. г.Санкт-Петербург, 2016. 151 с.
ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ В НАНОЛИТОГРАФИИ
